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大阪大学大学院工学研究科精密科学応用物理学専攻精密科学コース量子計測領域のホームページです

光でナノメートルの世界を観ることは光学レンズの回折限界を越えるために不可能と思われてきましたが走査型近接場光学顕微鏡Scanning Near-field Optical Microscope; SNOMの開発によってこの常識は破られました 量子計測領域では縦2nm 横10nmという世界最高の空間分解能を持つSNOMやnmレベルの高精度でミラーの絶対形状を計測できるPDI大面積の半導体基板上でナノメートルの欠陥を見つけ出せる光散乱法さらに次世代の超LSI露光に使う極端紫外線EUV発生用プラズマ光源の開発など最先端の 物づくり 科学技術へ 光 を応用する研究にチャレンジしています
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大阪大学大学院工学研究科精密科学応用物理学専攻精密科学コース量子計測領域のホームページです

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光でナノメートルの世界を観ることは光学レンズの回折限界を越えるために不可能と思われてきましたが走査型近接場光学顕微鏡Scanning Near-field Optical Microscope; SNOMの開発によってこの常識は破られました 量子計測領域では縦2nm 横10nmという世界最高の空間分解能を持つSNOMやnmレベルの高精度でミラーの絶対形状を計測できるPDI大面積の半導体基板上でナノメートルの欠陥を見つけ出せる光散乱法さらに次世代の超LSI露光に使う極端紫外線EUV発生用プラズマ光源の開発など最先端の 物づくり 科学技術へ 光 を応用する研究にチャレンジしています

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